（西安）科技有限责任公司获得一项名为“反响炉”的专利，授权公告号 CN 222182433 U，请求日期为2024年4月。
专利摘要显现，本揭露触及半导体或光伏资料加工技术领域，详细触及一种反响炉，处理了传统的加工设备中，工艺进气孔较为会集，易发生彼此搅扰，导致腔体内的气场散布不均匀的问题。本揭露的施行例供给的一种反响炉，其进气气路之间的出气口的距离大于100mm，可以有很大成效防止不同进气气路的出气口供给的气体彼此搅扰，有用提升了反响腔内气场的均匀性，有利于进步待加工资料上镀膜的质量。
（西安）科技有限责任公司获得一项名为“反响炉”的专利，授权公告号 CN 222182433 U，请求日期为2024年4月。
专利摘要显现，本揭露触及半导体或光伏资料加工技术领域，详细触及一种反响炉，处理了传统的加工设备中，工艺进气孔较为会集，易发生彼此搅扰，导致腔体内的气场散布不均匀的问题。本揭露的施行例供给的一种反响炉，其进气气路之间的出气口的距离大于100mm，可以有很大成效防止不同进气气路的出气口供给的气体彼此搅扰，有用提升了反响腔内气场的均匀性，有利于进步待加工资料上镀膜的质量。
